低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產（chǎn）生等離子體，所（suǒ）產（chǎn）生（shēng）等離子體的密度大，初（chū）用於（yú）氟利昂類、哈隆類物質（zhì）的分解處理，後延伸至（zhì）工業（yè）惡臭、異味。

低溫等（děng）離子廢（fèi）氣處理（lǐ）技術，采用雙（shuāng）介質阻擋放電形式產生等離子體（tǐ），所產生等離子體的密度大，初（chū）用（yòng）於氟利昂（áng）類（lèi）、哈隆類物質的（de）分解處理，後延伸至工（gōng）業惡臭（chòu）、異味、有毒有害氣體處理。

該技術節能、環保，應用範圍廣，所有化工生（shēng）產環節產（chǎn）生的惡（è）臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英有（yǒu）良好的分解效果。

等離子體（tǐ）工業（yè）廢氣處理（lǐ）技術已（yǐ）研（yán）製出標準化廢氣治理設備，利用（yòng）所產生的電子、自由基等（děng）活性粒子激（jī）活、電離、裂解工業廢氣中的（de）各組成份，使之發生分解，氧化（huà）等一些列複雜的（de）化（huà）學反應，再經過多級淨化，從而消除各種汙染源（yuán）排放的異味（wèi）、臭味汙染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生（shēng）存環境。由於其對汙（wū）染物分（fèn）子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。

作用原理（lǐ）：

低溫等離子體是繼固態（tài）、液態、氣態之後的物質第（dì）四態（tài），當外加電壓達到（dào）氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基（jī）在內（nèi）的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體（tǐ）。

低溫等（děng）離（lí）子體降（jiàng）解汙（wū）染物是利用（yòng）這些電子、自由基等活性粒子和（hé）廢（fèi）氣中的（de）汙染物作（zuò）用，使（shǐ）汙染物分子在極短的時間（jiān）內發生分解，並發生後續的各（gè）種反應以達到降解汙染物的目的。（注：低溫等離子體相對（duì）於高溫等（děng）離子體而言，屬於常溫運行。）

等離（lí）子（zǐ）體（tǐ）反應（yīng）區富含（hán）物質，如電子、離子、自由基和激（jī）發態（tài）分子等，廢氣中的汙染物質可與這些具有較量的物質發生反應，使汙染物（wù）質（zhì）在極短的時（shí）間內發生分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物的目的。