低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質（zhì）阻擋放（fàng）電形式產生等離子體，所產生等（děng）離子體的密度大，初用於氟利昂類、哈隆類（lèi）物質的分解處理，後延伸至（zhì）工業惡臭、異味（wèi）。

低溫等離子廢氣（qì）處理技術，采用雙介質（zhì）阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的（de）密（mì）度大，初用於氟利昂類（lèi）、哈隆類物質的分解處理，後延（yán）伸至工業（yè）惡（è）臭（chòu）、異味、有毒有害氣（qì）體處理。

該（gāi）技術（shù）節能、環保，應用範圍廣，所有化工生（shēng）產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理（lǐ），並對二惡（è）英（yīng）有良（liáng）好（hǎo）的分解（jiě）效果。

等離子體工業廢氣處（chù）理技術已研製出標準化廢氣治理設（shè）備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複雜的化學反應，再經過多級淨化，從而消除各種汙（wū）染源排放的異味、臭（chòu）味汙染（rǎn）物，使有毒有害氣體達到（dào）低毒化，保護人類（lèi）生存（cún）環境。由於其（qí）對汙染物分子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新（xīn）的思路。

作用原理：

低溫等離子（zǐ）體是繼固態、液態（tài）、氣態之後的物質第（dì）四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過（guò）程中雖然電子溫度很高，但重粒（lì）子溫度（dù）很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為（wéi）低溫等離（lí）子體。

低（dī）溫等離子體降解汙染物是利用（yòng）這些電（diàn）子、自由基等活性粒子和廢氣中的汙染物作用，使（shǐ）汙染物分子在極短（duǎn）的時間內發生分解，並發生後續的（de）各種反應以達到降解汙染物的目的。（注：低（dī）溫等離子體相對於高（gāo）溫（wēn）等離子體而言，屬於常溫運（yùn）行。）

等離子體反應區富含物質，如電子、離子、自由（yóu）基和激發態分子等，廢氣中的汙染物質可與這些具有（yǒu）較量的物質發生反應，使汙染（rǎn）物質在極短的時間內發生分解，並發生後續的（de）各種反應以達到降（jiàng）解汙染物的目的。